自动风环结构上采用双风口方式,其中下风口风量保持恒定,上风口圆周上分为若干个风道,每个风道由风室、阀门、电机等组成,由电机驱动阀门调整风道开口度,控制每个风道风量大小。
控制过程中,由测厚探头检测到薄膜厚薄信号传送到计算机,计算机把厚薄信号与当前设定平均厚度作对比,根据厚薄偏差量以及曲线变化趋势做运算,控制电机驱动阀门移动,当薄膜偏厚时,电机正向移动,风口关小;相反,电机反向移动,风口增大,通过改变风环圆周上各点风量大小,调整各点冷却速度,使薄膜横向厚薄偏差控制在目标的范围。关键词:
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